宽场荧光显微成像模组-卓立汉光

宽场荧光显微成像模组-卓立汉光
详细信息
品牌：卓立汉光型号：- 加工定制：是
类型：荧光 目镜放大倍数：- 物镜放大倍数：2x, 5x ,10x, 50x, 100x

宽场荧光显微成像模组

Wide-field Fluorescence Microscope Module

以自动化显微镜模组为基础，针对 SiC 等化合物半导体晶圆位错、层错等缺陷检测需求。

无须化学腐蚀、解理等样品前处理工艺，非接触、无损、整晶圆检测。

产品特性和核心技术：

激光自动聚焦。

自主研制的激光辅助离焦量传感器。

可在紫外激发光照射样品并采集荧光信号的同时工作，实现自动聚焦和表面跟踪。

紫外暗场照明。

标配波长 275 nm 紫外激发光，可按用户要求定制其它波长激发光。

可同位采集明场显微像、可见光波段暗场荧光像、红外波段暗场荧光像，分析样品中位错、层错等。

晶格缺陷的分布。

全自动操作。

自动化的控制软件和数据处理软件，全软件操作。

相关国家标准：

《中华人民共和国国家标准 GB_T 43493.3-2023 半导体器件功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据第 3 部分：缺陷的光致发光检测方法》（2023 年 12 月 28 日发布，2024 年7月1日实施）

性能参数：

应用案例：

6 英寸 SiC 外延片缺陷检测

堆叠层错（SF）

基面位错（BPD）

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	品牌：卓立汉光		型号：-		加工定制：是
	类型：荧光		目镜放大倍数：-		物镜放大倍数：2x, 5x ,10x, 50x, 100x