扫一扫，手机浏览- 卓立汉光半导体晶圆拉曼光谱测试系统
详细信息
品牌：卓立汉光 型号：半导体晶圆 半导体晶圆拉曼光谱测试系统R1——应力、组分、载流子浓度
面向半导体晶圆检测的拉曼光谱测试系统
主要功能：
•光穿过介质时被原子和分子散射的光发生频率变化，该现象称为拉曼散射。
•拉曼光谱的强度、频移、线宽、特征峰数目以及退偏度与分子的振动能态、转动能态、对称性等紧密相关
•广泛地应用于半导体材料的质量监控、失效分析。
仪器架构：
性能参数：
拉曼激发和收集模块
激光波长
532 nm
激光功率
100 mW
自动对焦
•在全扫描范围自动聚焦和实时表面跟踪
•对焦精度<0.2微米显微镜
•用于样品定位和成像
•100x，半复消色差物镜
•空间分辨率<2微米拉曼频移范围
80-9000 cm-1
样品移动和扫描平台
平移台
•扫描范围大于300x300mm。
•*小分辨率1微米。样品台
•8寸吸气台（12寸可定制）
•可兼容2、4、6、8寸晶圆片光谱仪和探测器
光谱仪
•320 mm焦长单色仪，接面阵探测器。
•分辨率<2.0 cm-1。软件
控制软件
•可选择区域或指定点位自动进行逐点光谱采集
Mapping数据分析软件
•可对光谱峰位、峰高和半高宽等进行拟合。
•可自动拟合并计算应力、晶化率、载流子浓度等信息，样品数据库可定制。
•将拟合结果以二维图像方式显示。
晶圆Mapping软件界面
数据分析软件界面
应力检测—GaN晶圆片
利用拉曼光谱568 cm-1位置的特征峰位移动，可以检测GaN晶圆表面应力分布。类似方法还可应用于表征Si/SiC/GaAs等多种半导体。
载流子浓度检测——SiC晶圆片
组分检测——结晶硅薄膜晶化率测试
结晶率指晶态硅与晶界占非晶态、晶态、晶界总和的质量百分比或体积百分比，是评价结晶硅薄膜晶化效果的一项重要指标。晶化率𝛸𝛸𝑐𝑐可通过拟合拉曼光谱分峰后定量计算。
多层复杂晶圆质量检测——AlGaN/GaNHEMT
•氮化镓高电子迁移率晶体管则凭借其良好的高频特性在移动电话、卫星电视和雷达中应用广泛。
•晶圆片包含Si/AlGaN/GaN多层薄膜结构。
•拉曼光谱可给出多层结构的指纹峰，并对其应力、组分、载流子浓度等进行分析。
AlGaN/GaN晶圆，直径6英寸
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北京卓立汉光仪器有限公司
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卓立汉光半导体晶圆拉曼光谱测试系统
页面价格仅供参考，具体请联系报价价格 价格电议,您可以向供应商询价得到该产品价格- 产品型号：半导体晶圆
- 品 牌：卓立汉光
- 所 在 地：北京
- 更新日期：2024-10-30
合计：1台总价：电议（联系我时，请说明是从谷瀑网看到的，谢谢！）店内推荐产品
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