- 压电 · 线性位移台— LS25x.Lab.R 闭环
详细信息
品牌:卓立汉光 型号:LS25x.Lab.R 闭环 加工定制:否
压电 · 线性位移台— LS25x.Lab.R (闭环)
产品特⾊
• 超安静运动,20 kHz驱动频率
• 25 × 25 mm × 8 mm极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R)
• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 150 nm
• *⼩步伐优于 15 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台,摇摆台
• ⽀持⽆磁(.NM)、⾼真空(.HV)和超⾼真空(.UHV)选件2D ·尺⼨图
LS25x.Lab.R 压电线性台 — 技术参数可选版本 ⇨
正常版本
.NM
.HV
.UHV
NM, 绝对⽆磁版本;
.HV, ⾼真空版本 ;
.UHV ,超⾼真空版本;
1 底⾯尺⼨*⾼度
25 × 25 mm × 8 mm
2 主体材料
不锈钢
纯钛
不锈钢
不锈钢
3 线缆 & 接头
标准屏蔽线缆
DSub9 接头
kapton漆包线,
PEEK-2mm插针
运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)
4 运动⾏程
8 mm
5 *⼤速度
~ 20 mm/s
6 *⼩步伐
⼩于 15 nm
7 驱动频率
Max. 20 kHz (超安静运动)
8 *⼤⽔平推⼒
2 N
9 保持⼒
5 N
0.3 mrad / 0.2 mrad
10 全⾏程俯仰/偏摆
运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)
11
*⼤垂直负载
2 N
12
保持⼒
5 N
传感精度
13
位置传感类型
- 电阻型传感( .R )
14
位置传感量程
8 mm
15
位置传感分辨率
~ 150 nm
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