国产突围丨卓立汉光ZDH气浮隔振腿：1Hz超低频隔振，破解精密制造

在国际贸易壁垒加剧的局势下，卓立汉光作为国产品牌通过持续技术攻坚，自主研发并推出了一款高性能“ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿”，该产品具有隔振性能较好，稳定性优异等特点，广泛应用于光学制造、半导体、激光测试、光电仪器研发与测试、生物医疗、精密机械制造等领域。

ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿

稳定 | 可靠 | 隔振

主要特点

ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿具有以下几个主要特点：

1. 结构简单：ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿采用模块化设计，结构简单、易于维护。同时，平台的基础部分、空气源、气动隔振元件和支撑调节系统等部分均可独立更换或升级，提高了平台的可靠性和灵活性。

2. 稳定性好：ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿由于采用了高压空气进行支撑和悬浮，具有较高的稳定性。即使在恶劣的振动环境下，平台也能保持较高的精度和稳定性。

3. 隔振效果显著：ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿通过降低平台的固有频率和振幅，有效隔离了来自地面的振动干扰。同时，搭配宽带阻尼台面，进一步提高了隔振效果。

4. 适用范围广：ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿适用于各种需要高精度和稳定性的应用场景。例如，在光学制造领域，平台可用于固定和支撑光学元件；在激光测试领域，平台可用于确保激光系统的稳定性和精度；在生物医疗领域，平台可用于支撑显微镜等精密仪器。

技术参数

1. 固有频率：固有频率是衡量其隔振性能的关键参数。一般来说，固有频率越低，隔振带宽越大。ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿的固有频率范围在垂直和水平方向上均为1.0~2.0Hz，满足绝大部分场景的使用。

2. 振幅：振幅反映了平台的振动幅度，是评价隔振效果的重要参数。通常，振幅越小，平台的稳定性越好，ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿的振幅一般小于1μm。

3. 调节方式：ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿采用自动定心调节方式，确保平台在调节过程中保持水平状态。

4. 隔振方式：ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿隔振方式采用空气薄膜、三线摆杆、混合气室结构等，适用于多种的应用场景。

5. 阻尼方式：ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿的阻尼方式包括多小孔阻尼或微米级层流阻尼等，阻尼方式的选择对平台的稳定性和隔振效果有重要影响。

性能参数

1. 减振效率：减振效率是衡量平台隔振效果的重要参数。一般来说，减振效率越高，平台的隔振性能越好。ZDH系列独立型气浮隔振支撑腿在5Hz和10Hz的振动频率下，气浮隔振平台的垂直减振效率一般可达75%~85%@5Hz，90%~95%@10Hz，水平减振效率可达90%~94%@5Hz，92%~98%@10Hz。

2. 搭配台面的平面度：平面度反映了平台台面的平整度，是评价平台加工精度的重要指标。一般来说，平面度越小，平台的加工精度越高，平面度指标可达≤0.05mm/㎡。

3. 搭配台面的表面粗糙度：表面粗糙度反映了平台台面的光滑程度，对光学元件的固定和稳定性有重要影响。一般来说，表面粗糙度越小，平台的性能越好，表面粗糙度可达<0.8μm。

4. 载荷能力：载荷能力是指平台能够承受的*大负载。一般来说，载荷能力越大，平台的适用范围越广。常见的载荷能力指标为300Kg/㎡左右。