- 卓立汉光压电 · 线性位移台— 闭环LS65x.Lab.O / .R
详细信息
品牌:卓立汉光 型号:LS65x.Lab.O / .R 加工定制:否 压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)
室温 ·压电运动解决⽅案 —“.Lab 系列“ 良好封装的位移台
外形紧凑,动⼒性能不折扣的压电线性台;同时保证优质的价格空间。
压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)产品特⾊
• 超安静运动, 20 kHz驱动频率
• 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)
• ⾼精度 · 空间传感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可选
• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm
• *⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台,摇摆台
• ⽀持⽆磁( .NM)、⾼真空( .HV)和超⾼真空 ( .UHV)选件
LS65x.Lab.O / .R 压电线性台 — 技术参数
可选版本 ⇨
正常版本
.NM
.HV
.UHV
.NM 绝对⽆磁版本;
.HV, ⾼真空版本 ;
.UHV ,超⾼真空版本;
1 底⾯尺⼨*⾼度
65 × 65 mm × 12 mm
2 主体材料
不锈钢
纯钛
不锈钢
不锈钢
3 线缆 & 接头
标准屏蔽线缆
DSub9 接头
kapton漆包线,
PEEK-2mm插针
运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)
4 运动⾏程
30 mm
5 *⼤速度
~ 20 mm/s
6 *⼩步伐
~ 10 nm
7 驱动频率
Max. 20 kHz (超安静运动)
8 *⼤⽔平推⼒
2 N
9 保持⼒
5 N
0.3 mrad / 0.2 mrad
10 全⾏程俯仰/偏摆
运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)
11
*⼤垂直负载
2 N
12
保持⼒
5 N
传感精度
13 位置传感类型
- 电阻型传感( .R )
- 光栅尺传感( .O )
14 位置传感量程
30 mm
15 位置传感分辨率
- 电阻型传感( .R ), 100-200 nm
- 光栅尺传感( .O ), 10 nm, 1nm可选(默认 10nm)
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